產品型號
廠商性質
更新時間
瀏覽次數(shù)
產品分類
相關文章
Nikon EX12B
1.Nikon EX12B步進式光刻機
光源波長248nm
分辨率優(yōu)于0.3µm
主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生產線
廣泛應用于化合物半導體、MEMS、LED等領域
2.產品詳情
主要技術指標
分辨率0.3µm
N.A.0.55
曝光光源248nm
倍率5:1
曝光現(xiàn)場22mm*22mm
對準精度
LSA:55nm
FIA:65nm
3.更多服務
提供中英文軟件及2"、4"、6"、8"設備硅片改造
常年提供所有備件、耗材